製品案内

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半導体:ウェハー洗浄装置

4~8対応カセット式バッチ洗浄装置

8対応カセットレス式バッチ洗浄装置

8~12対応枚葉式洗浄装置

薬液供給システム

6~12対応
横型/縦型石英管洗浄装置

6~12対応
横型/縦型石英管洗浄装置

太陽電池:ウェハー洗浄システム

Wafer枚葉分離装置(セパレータ)

Wafer切断後粗洗浄装置

Wafer切断後仕上洗浄装置